一，皮拉尼真空計

1.皮拉尼真空計原理

加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度

由于氣體粒子與 電阻絲碰撞離開時帶走了能量，電阻絲的溫度會發生變化

熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系

2.衍生出兩種類型的皮拉尼規

1，穩定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICON PSG500）

2，穩定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規）

3.氣體的熱傳導，與下列提條件有關:

1，氣體類型

2，壓力大小

4.皮拉尼真空計測量范圍與精度

測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮氣）：5 x 10-4至 1000 mbar

5.皮拉尼真空計的優特點

燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以大的保護，大大延長了燈絲的使用壽命

6.皮拉尼真空計具體型號

l        PSG050/051

l        PSG100-S  PSG101-S

l        PSG500/500-S PSG502

l        皮拉尼電容膜片復合真空計PCG400 PCG410 PCG550

1.有皮拉尼規與特制的陶瓷薄膜規合成在一起

2.兩種原理的規管全過程都工作

3.100 mbar—1000 mbar 使用薄膜規信號

4. 1 mbar– 100mbar 兩規信號同時采用

5.5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信號

6.輸出的真空度信號（電壓）連續，無跳躍

7.皮拉尼真空計應用行業

l        高真空泵的前級壓力測量，如光伏，鍍膜，等離子行業

l        中低真空測量，如照明，冶金

l        真空連鎖控制，高真空計的點火開關控制，如PEG100

l        PSG050可替代TR211，PSG051可替代TR216

l        PCG400 PCG410(現在已為PCG550，PCG400/PCG410已經停產)與PSG500 基本相同，但彌補了皮拉尼規大氣測量段精度不足的弱點，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍寶石爐上應用

l        PSG100 PSG101，與PSG500/PSG050 基本相同，但因為具有通訊協議功能，在大系統中應用

二，電容薄膜規CDG025D/CDG045/100/160/200

1.    電容薄膜規工作原理

l        壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關系

l        通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度

2.    電容薄膜規特點

l        以的純陶瓷傳感器室為基礎構成

l        在嚴酷和腐蝕性環境中,穩定與的度壓強測量

l        快速的預熱和恢復時間,提高生產率

l        的長期穩定性,再現性和重復性

l        由于電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性

l        對環境條件變化的度的降低使得測量更穩定

l        快速預熱在開機的一分鐘內達到快速穩定和進入 準備使用狀態

l        一鍵按鈕: 調零功能和設點調整

l        抗腐蝕純陶瓷傳感器

l        能經受數百萬次壓強循環周期,包括大氣壓 沖擊,無任何降低性能的跡象

l        暴露大氣壓后快速恢復,無需隔離閥

l        對蒸氣介質不

l        的傳感器屏蔽 ()延長真空計在污染的工藝過程中的使用壽命

3.    INFICON陶瓷

l        陶瓷的性

1，            無 “記憶”效應

2，            陶瓷無疲勞問題

3，            的溫度補償

4，            的零點穩定性

l        低使用成本

1.      非凡的使用壽命

2.      無需隔離閥

4.    Sky CDG025D測量范圍  

5.    加熱型薄膜規

6.    加熱型

l        零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環境）

l        更高的精度

l        環境溫度變換/環境壓力變化/環境氣流變化對精度無影響

l        比工藝更快的預熱啟動時間’

l        快速恢復時間 大氣壓 < 1 min within 5mV

l        任意安裝角度

l        抗污染，可抵抗工藝氣體或工藝產生氣體的腐蝕影響

7.電容薄膜規的應用

要求高的應用條件下，而快速的壓強測量

l        用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導體設備制造，如太陽能光伏行業的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如Ruth&Rau公司的PECVD設備標配產品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質量流量計用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1  2000sccm/NH3，用的好多PECVD設備上用的是INFICON的CDG025D。

l        資料貯存和顯示器制造設備

l        工業真空設備

l        常用度真空測量

三，熱電離規

1.熱電離規原理

Richardson 效應: 高溫燈絲發射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去，形成帶正電的離子

1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出

2）離子流的大小與氣體壓力成比例關系

2.    兩種類型熱電離規

3.    熱電離型復合規

l        HPG400

l        BPG400/-SP/-SD/SR

l        BPG402

l        BCG450B-A規，皮拉尼規，薄膜規三種型號復合在一起

l         

4.及應用

l       BPG

n        測量范圍寬，一個規管覆蓋13個量程5x10^-10–1000 mbar

n        精度高，極好的重復性5%

n        燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護，使燈絲并不會因突然暴露大氣而燒毀。

n        方便的校準調節

n        注意事項：

u      對氣體有選擇性

u      抗污染能力弱

n        普遍應用于從低到真空的測量

n        在工業，半導體，研究行業應用

l       BPG402

n        雙燈絲，大大延長使用壽命

n        電離規的工作可以自定義控制

n        探頭備件自帶校準參數，精度與重復性

l       HPG400

n        電離規與皮拉尼的復合

n        皮拉尼自鎖保護電離規

n        電離規的工作啟動點可以一定范圍內自定義

n        簡易的校準功能

n        相對便宜的價格

l       BCG450

n        可調的電離規工作起點

n        的重復性

n        的大氣端測量

四，冷電離規（潘寧規）

1.冷電離規原理

通過氣體放電方式產生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離

2.潘寧規特點與應用

l        測量范圍：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar

l        全金屬密封

l        無燈絲

l        易清洗

l        應用于普通的高真空測量

3.冷規復合規MPG400特點與應用

l    冷規與皮拉尼規的復合

l    測量范圍廣： 5x10^-9-1000 mbar

l    易于保養清洗

l    無高真空燈絲，

l    應用于普通高真空測量

4.   冷規及復合規性能比較